Masspektrometern är ett analytiskt instrument som mäter förhållandet mellan massa och laddning mellan joner. Resultaten presenteras som ett masspektrum, ett diagram över intensitet som en funktion av förhållandet mellan massa och laddning.
Analyserad gas, normalt en spårgas som helium, väte eller SF6, joniseras i vakuum. Joner av gasen accelereras med hjälp av extra spänning och separeras ytterligare i magnetfältet. Jonströmmen har en detektor förvandlad till en elektrisk ström. Strömmen accelereras och visas på skärmen med hjälp av läckagedetekteringsenheter. Den uppmätta strömmen står i direkt proportion till heliumkoncentrationen vilket resulterar i det uppmätta läckaget.
Masspektrometer är ett viktigt instrument i läcksökningsmaskiner med krav på detektering av små läckor.